ULVAC作为追求真空极限(Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱,以电子技术及信息通信技术为首,在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域,以生产设备为中心、提供先进的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面,以真空技术为基础,进行了各种技术开发,已经和正在提供作为制造工艺重要部分的先进设备。
涡旋式泵主要包括左定子、右定子、转子、曲轴、防自转机构、进气口、排气口等部分。气体在由涡旋定子和涡旋转子组成的月 牙腔内压缩,涡旋定子固定在机架的周边上,在涡旋定子的周边上开有吸气口,在转子和定子涡旋体中心部开有排气口。涡旋转 子随着曲轴的回转以偏心量作为半径绕定子中心做公转运动。在涡旋转子还受防自传结构的约束,不能自传,始终保持着一种固 定的姿势,其中心绕涡旋定子中心作半径为R的圆周运动。
1.无需使用泵油,无需泵油交换,没有油污染;
2.耗电比油泵少;
3.空冷式,无需冷却水.
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